TEL 388-200206-V1温度控制器
TEL 388-200206-V1 是东京电子Tokyo Electron生产的一款半导体设备专用温度控制器。专用于半导体制造设备的温度闭环控制。支持多通道温度监测可读取热电偶、热敏电阻等多种传感器信号。采用PID控制算法自动调节加热或冷却输出。可实现±0.1°C或更高的温度控制精度。内置过热、开路、短路等异常报警与保护功能。出现异常时可触发报警并自动切断输出。适用于晶圆加热台、真空腔体、气体管路等场景的温度控制。模块化设计便于在设备机台中安装与维护。支持与设备主控系统集成实现联动控制。可对多个独立温区分别进行测量与控制。具备温度设定值与实际值的实时显示功能。采用工业级元器件适应连续生产环境。作为TEL原厂备件与TEL设备兼容性好。在二手市场上存在一定流通可作为维修替换件采购。结尾综上TEL 388-200206-V1 凭借高精度闭环控制、多通道监测能力及完善的保护机制是TEL半导体设备中保障工艺温度稳定的关键控制模块。
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