MKS002-4616-2D2 气体分析仪为MKS品牌e-Vision系列通用残余气体分析仪RGA专用于半导体及工业领域的气体成分检测与过程监控采用先进质谱分析技术检测精度高、响应迅速。其主要特点如下中间15条原厂型号MKS002-4616-2D2来源清晰可追溯品牌为MKS Instruments残余气体分析领域全球领先属于e-Vision系列通用残余气体分析仪RGA采用四极质谱分析技术检测结果准确可靠支持ppm级微量气体浓度检测灵敏度高全量程动态范围内数据采集速度快毫秒级响应具备双灯丝设计确保关键监测过程不停机支持多种质量范围配置100/200/300 amu配备法拉第检测器部分型号可选微通道板倍增器内置Web控制界面通过浏览器即可操作控制支持Modbus TCP/IP及ASCII协议通讯集成方便烘烤温度最高可达250°C适应真空环境使用半导体级真空法兰接口DN 40 CF安装规范适用于半导体工艺腔体残余气体分析与终点检测电源需求为24 VDC功耗低配套通用电源适配器结尾综上MKS002-4616-2D2 气体分析仪具有型号清晰、检测灵敏、响应快速、通讯灵活且适合半导体集成应用等特点是真空工艺过程气体监测与残余气体分析的可靠选择。
